国家/地区 美国(4) 中国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/52(7)
发明人 NAGEL C J(2)
公开年 2021(6)
申请年 2020(7)
专利权人 QUANTUM ELEM.(2)