国家/地区 韩国(5) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) B82(2) C07(2)
H01(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B031/02(5) B82Y040/00(2) H01L021/02(2)
发明人 LEE C(5)
公开年 2014(5)
申请年 2013(3)  2014(2) 
专利权人 DONG JIN SEM.(2) SAMSUNG ELEC.(2)