国家/地区 韩国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) C23(5) H01(3)
B82(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C016/505(5)
发明人 LEE C(2) LEE C S(2) SHIN H(2)
SHIN H J(2) SHIN K(2) SHIN K W(2)
公开年 2023(5)
申请年 2022(3)  2021(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)