国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) H01(4) C23(3)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B032/186(3) H01L021/285(3) H01L021/768(3)
C23C016/26(2) C23C016/505(2) C23C016/511(2)
H01L023/532(2)
发明人 LEE C(4)
公开年 2023(4)
申请年 2021(2)  2022(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3)