国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6) H01(5) C23(3)
B82(2) C30(2)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B031/04(5) C23C016/26(3) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C23C016/02(2) C23C016/56(2)
C30B025/02(2) H01L029/16(2) H01M004/587(2)
发明人 ZHANG Y(6) DENG P(2) GUO H(2)
LEI T(2) ZHANG K(2)
公开年 2012(2) 2014(2)
申请年 2012(4) 
专利权人 ZHANG Y(6)