国家/地区 中国(3) 韩国(2) 美国(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C04(4)
IPC小类 C04B(4)
IPC C23C024/10(2) C25D015/00(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2020(4)
专利权人