国家/地区 | 中国(3) 韩国(2) 美国(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C04(4)![]() |
IPC小类 |
C04B(4)![]() |
IPC |
C23C024/10(2)
C25D015/00(2)
H01L021/02(2)
|
发明人 | |
公开年 | 2021(3) |
申请年 |
2020(4)![]() |
专利权人 |
LU Y, YANG X, BI C, ZHANG J, LI D, NING T, SUN F, YANG Y, CAO B