国家/地区 日本(4) 美国(4) 中国(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) C25(5) B82(4)
H01(3)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B031/02(5)
发明人 KOKUNI T(2) NAGATA T(2) OGUNI T(2)
OSADA T(2) TAKEUCHI T(2)
公开年 2013(3)
申请年 2012(5)
专利权人 SEMICONDUCTO.(3)