国家/地区 台湾(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6)
IPC C01B031/04(3) H01L021/02(3) B01J037/02(2)
B05D005/12(2) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C01B031/02(2) C23C016/56(2) C25D003/38(2)
C25D011/02(2) C30B029/02(2)
发明人 KOHIKI M(2) SAKAGUCHI K(2)
公开年 2021(2)
申请年 2020(2) 
专利权人 NIPPON MININ.(2)