国家/地区 日本(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C30(5) C01(4) C23(3)
H01(3) B82(2)
IPC小类 C30B(5)
IPC C01B031/02(4) C30B029/02(3) H01L021/20(3)
C30B025/18(2) C30B029/68(2) H01L021/02(2)
H01L021/205(2) H01L029/06(2) H01L033/00(2)
发明人 FAN F Y(2) FAN S(2) GI Y(2)
WEI Y(2)
公开年 2013(5)
申请年 2012(5)
专利权人 HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2)