国家/地区 中国(8) 世界知识产权组织(6) 韩国(4) 美国(4) 日本(3) 台湾(2)
IPC部 C(16)
IPC大类 C01(16)
IPC小类 C30B(16)
IPC C30B029/02(7) C01B032/186(6) C23C016/26(5)
C01B032/194(4) C01B032/182(3) C01B032/184(3)
C30B030/02(3) B32B009/00(2) B82Y040/00(2)
C01B032/19(2) C23C016/01(2) C23C016/02(2)
C30B001/10(2) C30B025/00(2) C30B025/18(2)
发明人 LI L(2)
公开年 2022(8) 2023(8)
申请年 2022(16)
专利权人 TOKYO ELECTR.(2)