国家/地区 | 中国(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C30(4)![]() |
IPC小类 |
C30B(4)![]() |
IPC |
H01L021/02(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2019(2) 2021(2) |
申请年 |
2019(4)![]() |
专利权人 |
TU R, HU Z, ZHANG S, ZHANG L