国家/地区 | 美国(4) 中国(2) 日本(2) 韩国(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2014(4)![]() |
申请年 | 2013(2) 2014(2) |
专利权人 |
CHEN Y, LI J, LI Y, ZHANG X, LEE Y
MIYAZAKI H, SAKAI T, KATAGIRI M, YAMAZAKI Y, SAKUMA H, SUZUKI M, SAKUMA N