国家/地区 美国(4) 中国(2) 日本(2) 韩国(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C23C016/26(4)
发明人
公开年 2014(4)
申请年 2013(2)  2014(2) 
专利权人