国家/地区 美国(25) 中国(14) 世界知识产权组织(13) 日本(10) 欧洲专利局(EPO)(8) 韩国(8) 台湾(4) 加拿大(3) 澳大利亚(2) 以色列(2) 印度(2) 墨西哥(2) 俄罗斯(2) 新加坡(2) 南非(2)
IPC部 B(27)
IPC大类 B82(27)
IPC小类 B82Y(27)
IPC C01B031/00(27)
发明人 HIROHASHI T(2)
公开年 2012(27)
申请年 2011(14)  2012(10)  2010(3) 
专利权人 KOREA INST S.(2) SAMSUNG ELEC.(2) SEMICONDUCTO.(2)