国家/地区 德国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B032/20(3)
C01B031/04(2) C01B032/186(2) C01B032/194(2)
H01B001/04(2) H01B005/02(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
发明人
公开年 2017(6)
申请年 2016(5) 
专利权人