国家/地区 |
德国(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3)
C01B032/20(3)
C01B031/04(2) C01B032/186(2) C01B032/194(2) H01B001/04(2) H01B005/02(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2) |
发明人 | |
公开年 |
2017(6)![]() |
申请年 | 2016(5) |
专利权人 |
KLINGELE M, THIELE S, VAN PHAM C, PHAM V C
NEBEL C E, HOFFMANN R, ROSCHER S, ROSCHNER S, HOFFMAN R
LUTZ T, PURKL F, ROELVER R, ROHLFING F
KIREEV D, SARIK D, WOLFRUM B, OFFENHAEUSSER A, OFFENHAUSSER A