国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B05(5) C01(4) H01(4)
B01(2) H05(2)
IPC小类 B05D(5)
IPC C01B031/04(3) B05D005/12(2) H01L029/06(2)
发明人
公开年 2015(5)
申请年 2015(5)
专利权人