国家/地区 |
美国(8)![]() |
IPC部 |
F(8)![]() |
IPC大类 |
F25(8)
H01(5)
B01(4)
C09(3) F28(2) H02(2) |
IPC小类 |
F25B(8)![]() |
IPC |
B01J020/20(2)
B01J020/28(2)
F25B017/08(2)
F25B021/02(2) F25B030/04(2) H01L035/02(2) |
发明人 | |
公开年 | 2021(3) 2014(2) |
申请年 | 2020(4) 2013(2) |
专利权人 |
BERGIDA J R, LEAVITT D D, VANNESTE J, BUSH J A, LEAVITT D
ZENG G, LI T, HASEL Y, PENTTILAE J, CHAN K W, HASSEL J
LEE J, HUANG C, KANG Y, JENG M, PENG S, LI J, HUANG Q, ZHENG M, LEE J H, HUANG C Y, JENG M S, PENG S L
BOLIN G, TORNEREFELT U, GOERAN B, ULRIKA T
CHOI J, BAIK S, HONG S, KIM W Y, BAIK S H, CHOI J Y, HONG S H