国家/地区 美国(4) 中国(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) H01L(3) B32B(2)
B82Y(2) C01B(2) G06F(2)
IPC C23C016/26(6)
发明人
公开年 2014(6)
申请年 2013(5) 
专利权人