国家/地区 韩国(4) 美国(3)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) H01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC H01L029/786(4)
发明人 SONG Y(2)
公开年
申请年 2014(2) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(4)