| 国家/地区 | 日本(9) 世界知识产权组织(6) 中国(5) 美国(5) 韩国(2) |
| IPC部 |
B(14)
C(14)
H(6)
G(2) |
| IPC大类 |
B32(14)
|
| IPC小类 |
B32B(14)
C01B(14)
H01L(3)
C04B(2) C23C(2) G03F(2) H01B(2) |
| IPC |
C01B032/194(14)
|
| 发明人 | HASEGAWA M(2) OKIKAWA Y(2) |
| 公开年 |
2021(14)
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| 申请年 | 2021(7) 2020(4) 2019(3) |
| 专利权人 | MITSUBISHI M.(2) NAT INST ADV.(2) |
XU Z, WANG Y, WANG H, LIU J
YI Y, WANG G, ZHANG S, YU H, ZHANG X, JIANG Q
GU T J, JANG W, SEO Y, WHANG D, WHANG D M, SEO Y M, JANG W S
TAKADA N, SEKI K, KODERA Y, SEKIGAZUNORI, YUTAKA G
TAKASHI M, TAKUYA K, MAEKAWA T, KUBO T
OKIKAWA Y, YAMADA T, HASEGAWA M
