国家/地区 美国(6) 中国(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 日本(4) 韩国(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 B(6)
IPC大类 B82(6)
IPC小类 B82Y(6) C01B(6) B82B(4)
B32B(3) H01B(3) B01J(2)
C23C(2) H01L(2)
IPC B82Y040/00(6)
发明人
公开年 2012(6)
申请年 2012(4)  2011(2) 
专利权人