| 国家/地区 | 美国(5) 世界知识产权组织(4) 日本(2) 韩国(2) 台湾(2) |
| IPC部 |
B(5)
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| IPC大类 |
C01(5)
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| IPC小类 |
C01B(5)
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| IPC |
C23C016/02(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(4) |
| 申请年 |
2012(5)
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| 专利权人 |
SULLIVAN M M E, HILTY R D, MARTENS R I, ZHENG M, HEMOND J H B, LIU Z, SULLIVAN MALERVY M E, SULLIVAN MALERVY M, HILTY R, MARTENS R, HEMOND J, SULLIVANMALERVY M E
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S
MATSUMOTO TAKASHI, MATSUMOTO T
KIM K H, MAENG K S, PARK C W, CHA S W, HONG S Y, HONG B H, JUNG M H, KIM K E, PARK S B, BEOM P S, EUN K G, HUI H B, HUI J M, HYEONG K G, SEOP M G, U P C, WON C S, YEON H S
