| 国家/地区 | 美国(7) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 中国(3) 日本(3) 澳大利亚(2) 加拿大(2) 欧洲专利局(EPO)(2) |
| IPC部 |
C(7)
B(5)
H(2)
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| IPC大类 |
C01(7)
|
| IPC小类 |
C01B(7)
C23C(7)
B82Y(3)
C30B(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C016/04(7)
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| 发明人 | NAGEL C J(3) BRODEUR C L(2) |
| 公开年 | 2021(7) |
| 申请年 |
2020(7)
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| 专利权人 | QUANTUM ELEM.(3) |
LEE E, SHIN H, SHIN K, BYUN K, KIM C, LEE C, LEE C S, BYUN K E, SHIN K W, SHIN H J
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I
