国家/地区 日本(3) 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 B82(6)
IPC小类 C01B(6) H01J(6) B82B(4)
B82Y(3) H01B(2)
IPC H01J001/304(6)
发明人
公开年
申请年 2002(2) 
专利权人