国家/地区 韩国(5) 中国(2) 美国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B031/02(4) B82Y040/00(2) H01L021/02(2)
发明人 LEE C(5)
公开年 2014(3) 2015(2)
申请年 2013(5)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)