国家/地区 德国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC B82Y040/00(5) C01B032/20(4) B82Y030/00(3)
C01B031/04(3) C01B032/15(2) C01B032/182(2)
C01B032/186(2) C01B032/194(2) C01B032/225(2)
H01B001/04(2) H01B005/02(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
发明人
公开年 2017(9)
申请年 2016(6)  2017(2) 
专利权人