国家/地区 美国(10) 中国(8) 日本(8) 世界知识产权组织(7) 韩国(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 台湾(4) 西班牙(2)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10)
IPC C01B031/02(10)
发明人 KOKUNI T(2) NAGATA T(2) OGUNI T(2)
OSADA T(2) TAKEUCHI T(2)
公开年 2013(3) 2014(3) 2011(2)
申请年 2012(3)  2013(3) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(3)