国家/地区 日本(45)
IPC部 C(45)
IPC大类 C01(45)
IPC小类 C01B(45)
IPC C01B032/182(17) C01B032/194(13) B82Y030/00(11)
C01B032/184(10) C01B032/198(10) B82Y040/00(9)
C01B032/15(9) C01B032/18(9) C01B032/186(8)
C01B032/19(4) H01L023/532(4) H01M004/62(4)
B01D069/12(3) B01D071/02(3) C23C016/26(3)
发明人 IFUKU R(3) KATAGIRI M(3) MATSUMOTO T(3)
MIYAZAKI H(3) SAKAI T(3) ARIFUKU M(2)
CRUZ SILVA RODOLFO(2) ENDO MORINOBU(2) FUKUYO TOMOYUKI(2)
KAWAGUCHI A(2) MATSUBARA N(2) MORELOS GOMEZ AARON(2)
NARUTSUKA S(2) OHTOMO M(2) OTOMO M(2)
公开年 2018(45)
申请年 2017(31)  2018(9)  2016(5) 
专利权人 FUJITSU LTD(4) TOSHIBA KK(4) HITACHI CHEM.(3) TOKYO ELECTR.(3)
UNIV SHINSHU(3) SEMICONDUCTO.(2) SHOWA DENKO .(2) TORAY IND IN.(2)
UNIV KYOTO(2) UNIV MEIJO(2)