国家/地区 美国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B82(4)
IPC小类 B82Y(4)
IPC B82Y030/00(4) B82Y040/00(4) C01B032/184(3)
C30B029/02(3) C30B001/02(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2018(4)
申请年 2017(3) 
专利权人

URBAN J J, RUMINSKI A M, CHO E S, BARDHAN R, BRAND A, WOOD B C, HEO T W, SHEA P T, KANG S Y, ZHOU X