国家/地区 日本(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C01B032/182(3) C07C025/22(3) C01B032/184(2)
C01B032/194(2) C07C025/13(2) C08K003/04(2)
H01L021/336(2) H01L029/786(2) H01L051/05(2)
H01L051/30(2)
发明人 HAYASHI H(2) OTOMO M(2) SATO S(2)
YAMADA Y(2) YAMAGUCHI J(2)
公开年 2022(3) 2020(2) 2021(2)
申请年 2020(7)
专利权人 FUJITSU LTD(4) NARA INST SC.(2)