国家/地区 韩国(4)
IPC部 C(4) B(2)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C23C016/26(4) C01B032/186(3) C01B031/02(2)
发明人 CHO K(4) CHO K W(3) BONG H(2)
LEE H C(2) YOO M S(2)
公开年
申请年 2014(2) 
专利权人 CENT ADVANCED SOFT ELECTRONICS(4)