国家/地区 韩国(6) 美国(4) 中国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) C01B(3) H01L(2)
IPC C01B031/02(3) C01B031/04(2) C23C016/26(2)
发明人 KIM T H(6)
公开年 2014(2)
申请年 2018(2) 
专利权人 LG ELECTRONI.(2) UNIV SUNGKYU.(2)

KIM T H, KIM Y K, KEE S B, KIM S K, IM C G, HO K T, GWON K Y, BEOM G S, GUK K S, GYU I C