| 国家/地区 | 美国(4) |
| IPC部 |
C(4)
B(3)
H(3)
|
| IPC大类 |
C01(4)
|
| IPC小类 |
C01B(4)
C23C(4)
B32B(3)
B82Y(3) B05D(2) B82B(2) H01B(2) H01L(2) |
| IPC |
C01B032/182(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(4) |
| 申请年 |
2012(4)
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| 专利权人 |
TAKAHASHI M, SAITO Y, MOMO J, MORIWAKA T, KUSUMOTO N, MORIWAKA K, YONEDA Y
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S
