国家/地区 台湾(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) B32B(3) B01J(2)
C01B(2) H01L(2)
IPC C23C016/27(6)
发明人 TZENG Y(2) TZENG Y H(2)
公开年 2021(3)
申请年 2021(2) 
专利权人 UNIV NAT CHE.(2)

POLUSHIN N I, MASLOV A L, LAPTEV A I