国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)![]() |
IPC小类 | C23C(5) H01L(2) |
IPC |
C23C016/34(5)![]() |
发明人 | YANG H(2) |
公开年 |
2023(5)![]() |
申请年 | 2022(3) |
专利权人 |
LI J, FU Y, DAI Y, LIN C, WANG Z, LIN L, YANG Y, HU Y, XU Z, FU Z
GUO F, YANG H, CHEN Z, WU J, SHEN B, YANG X
LUO M, CHENG T, WANG X, ZU Y, YU C