国家/地区 日本(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C23C(6) C01B(5) B82Y(4)
B01J(2) C23F(2) H01L(2)
IPC C23C016/455(6)
发明人
公开年 2013(2) 2016(2) 2021(2)
申请年 2021(2) 
专利权人