国家/地区 |
日本(6)![]() |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C23C(6)
C01B(5)
B82Y(4)
B01J(2) C23F(2) H01L(2) |
IPC |
C23C016/455(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) 2016(2) 2021(2) |
申请年 | 2021(2) |
专利权人 |
PEPIN P, ETHRIDGE K, THOMSON C, HOLBROOK B, ESRIDGE K
MATHARU J, THOMAS S, TEO K B K, JOUVRAY A, JOUBEUREI A, MATARU J, TOMASEU S
NISHIDE D, MATSUMOTO T, KAGAYA M, IFUKU R
LIU Z, ZHENG M, MARTENS R I, MARTENS R
MALECKI H C, DAHNE J L, LOEBACH J P, GAIGLER R L, LEDFORD J T, MALECKI H, DAHNE J, LOEBACH J, GAIGLER R, LEDFORD J