国家/地区 | 中国(3) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 台湾(2) 美国(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C016/56(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(3) |
申请年 |
2021(5)![]() |
专利权人 |
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SHARMA K