国家/地区 韩国(4) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4) C01B(3) B32B(2)
H01L(2)
IPC C01B031/02(3) C23C016/26(3) B32B043/00(2)
发明人 KIM H(4)
公开年 2012(3)
申请年 2012(4)
专利权人 UNIV SUNGKYU.(2)