国家/地区 美国(7) 中国(5) 韩国(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 H01L(9) C23C(8) C01B(5)
B01J(2) B82Y(2) C25D(2)
C30B(2)
IPC H01L021/02(9)
发明人 CHEN Z(2) HAO Y(2) LV J(2)
ZHANG J(2)
公开年 2016(9)
申请年 2016(6)  2015(3) 
专利权人 UNIV XIDIAN(2)