国家/地区 | 美国(5) 中国(3) 韩国(3) 澳大利亚(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 新加坡(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C016/44(5)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2017(5)![]() |
申请年 | 2016(5) |
专利权人 |
PARK C, CHO S, SEO S, SHIN S, PARK C H, CHO S M, SEO S A, SHIN S M
CHIU J, YEH C, CHIU P, QIU B, QIU R, YE Z
SEO D H, PINEDA S, HAN Z J, OSTRIKOV K
LIU X, MANLEY R G, MORENA R M, SONG Z
SWETT J L, BEDWORTH P V, HEISE S E, SINTON S W, SIMON S M