国家/地区 中国(3) 美国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C30B(5)
IPC C30B025/00(3) C30B029/02(3) C23C016/02(2)
C23C016/26(2) C23C016/54(2) C30B029/64(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2018(5)
申请年 2017(5)
专利权人 UNIV PEKING(2)