国家/地区 | 美国(6) 中国(5) 韩国(5) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 日本(2) |
IPC部 |
B(9)
C(9)
H(3)
F(2) |
IPC大类 |
B32(9)![]() |
IPC小类 |
B32B(9)![]() |
IPC |
C23C016/00(9)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) 2012(2) 2016(2) |
申请年 | 2011(2) 2012(2) |
专利权人 |
KOCABAS C, ERGOKTAS M S, BAKAN G
COLOSIMO N G R, COLOSIMO N
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
ARNOLD M S, GOPALAN P, SAFRON N S, KIM M, UNG K M
MERINO S C, MARTIN G I, VARELA R H, MERINO A M D P, MERINO SANCHEZ C, MARTIN GULLON I, VARELA RIZO H, MERINO AMAYUELAS M D P, RIZZO H V, SANCHEZ C M, OMARYERAS M D P M, GULLION I M