| 国家/地区 | 中国(2) |
| IPC部 |
C(5)
|
| IPC大类 |
C01(5)
|
| IPC小类 |
C01B(5)
|
| IPC | C23C016/26(3) C01B032/186(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 |
2022(5)
|
| 申请年 |
2020(5)
|
| 专利权人 |
LEE S H, HAJUNSEOK, RHO H K, RYU H S
MCALEESE C, CONRAN B R, TEO K B K
