国家/地区 韩国(6) 美国(5) 中国(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 加拿大(2) 日本(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/00(7)
发明人
公开年 2013(3)
申请年 2012(3) 
专利权人