国家/地区 美国(5) 中国(2) 日本(2) 韩国(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/02(7)
发明人
公开年 2016(7)
申请年 2015(3)  2016(3) 
专利权人