国家/地区 美国(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/30(7)
发明人 SEO S(2) SEO S A(2)
公开年 2021(2)
申请年 2011(2) 
专利权人