国家/地区 | 中国(2) 韩国(2) 美国(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2020(5)![]() |
申请年 | 2019(4) |
专利权人 |
YANG C M, JO A, KIM S Y, RYU J S, LEE M W, MINGOOK K, NA W
KIM C, SHIN H, BYUN K, SHIN K, LEE C, NAM S, AN S, LEE J, CHO Y, SHIN H J, BYUN K E, SHIN K W, LEE C S, NAM S G, AHN S J, LEE J H, LEE J I, CHO Y C