国家/地区 日本(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B032/15(5) C01B032/18(5) C01B032/182(5)
C23C016/26(5) C30B029/02(4)
发明人 AIDA H(5)
公开年 2017(5)
申请年 2016(5) 
专利权人 NAMIKI SEIMI.(5)