国家/地区 美国(9)
IPC部 B(9)
IPC大类 B82(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC B82Y030/00(7) B82Y040/00(6) C01B031/04(6)
C04B035/622(3) C23C016/02(3) H01L021/02(3)
B32B015/04(2) B82B003/00(2) C01B021/064(2)
C01B031/02(2) C01B032/186(2) C03C017/22(2)
C04B035/583(2) C04B035/653(2) C04B041/00(2)
发明人 HU S C(2) LIN I(2) SUNG C(2)
YU C(2)
公开年 2012(2) 2015(2) 2021(2)
申请年 2013(2) 
专利权人 HU S C(2) LIN I(2) SUNG C(2) YU C(2)