国家/地区 美国(8) 韩国(6) 中国(5) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 日本(4) 印度(3) 台湾(3) 法国(2)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8)
IPC小类 C23C(8)
IPC H01L021/02(8)
发明人 GABEN F(2) LIPOMI D J(2) ZARETSKI A(2)
公开年 2021(3) 2016(2)
申请年 2020(3)  2016(2) 
专利权人 UNIV CALIFOR.(2)