国家/地区 韩国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C23C(5)
IPC C30B025/18(4) C23C014/34(3) C23C016/26(3)
C30B029/02(3) C01B031/04(2) C01B032/186(2)
C23C014/18(2) C23C016/01(2) C23C016/02(2)
C23C016/52(2) C23C028/00(2) H01G011/32(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2016(2) 2017(2)
申请年 2016(5)
专利权人